前不久,在蘇州工業(yè)園區,國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng )新中心(蘇州)發(fā)布“揭榜掛帥”項目指南。該中心副主任、江蘇第三代半導體研究院院長(cháng)徐科表示,發(fā)布第三代半導體“揭榜掛帥”項目,是為了加快人才集聚、協(xié)作突破難點(diǎn),加大關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)力度,全力推進(jìn)該領(lǐng)域高水平科技自立自強。目前,第三代半導體材料生產(chǎn)裝備及核心部件開(kāi)發(fā)等關(guān)鍵技術(shù)項目已由廈門(mén)大學(xué)、西安交通大學(xué)等高校揭榜。
自2006年在國內率先布局納米技術(shù)應用產(chǎn)業(yè)以來(lái),蘇州工業(yè)園區一步步建載體、引人才、招企業(yè),構建日益完善的產(chǎn)業(yè)生態(tài),推動(dòng)從研究走向應用、從技術(shù)走向產(chǎn)業(yè)。
產(chǎn)業(yè)培育“慢工出細活”
納米技術(shù)應用產(chǎn)業(yè)空間大、潛力足,但與之相對的是投入大、回報慢。錨定目標,一張藍圖繪到底。經(jīng)過(guò)十多年悉心培育,納米產(chǎn)業(yè)在這里從“零基礎”變成“千億級”,目前園區已躋身全球五大納米產(chǎn)業(yè)集聚區之一,以園區為核心的蘇州市納米新材料集群入選國家先進(jìn)制造業(yè)集群,產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新集群建設高歌猛進(jìn)。
“納米技術(shù)應用產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,既要看得遠,前瞻布局規劃先行;又要沉住氣,甘于坐‘冷板凳’,慢工才能出細活?!碧K州納米科技發(fā)展有限公司董事長(cháng)張淑梅說(shuō)。
一番梳理之下,該產(chǎn)業(yè)發(fā)展路徑和關(guān)鍵節點(diǎn)歷歷在目——
2006年,中科院蘇州納米所在獨墅湖畔成立,拉開(kāi)了蘇州納米技術(shù)應用產(chǎn)業(yè)發(fā)展的序幕;
2010年,園區在國內率先將納米技術(shù)應用產(chǎn)業(yè)列為區域戰略性新興產(chǎn)業(yè),通過(guò)實(shí)施納米科技領(lǐng)軍人才計劃、納米三年雙倍增計劃等,吸引海內外高層次人才紛至沓來(lái);
2013年,作為園區發(fā)展納米技術(shù)應用產(chǎn)業(yè)的主陣地,蘇州納米城正式投用,后被認定為“國家級科技企業(yè)孵化器”;2019年,江蘇省第三代半導體研究院成立;2021年,國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng )新中心(蘇州)掛牌成立……
至2023年,園區已累計落戶(hù)近40家行業(yè)相關(guān)科研院所、高校研究院。通過(guò)鼓勵科研機構與企業(yè)聯(lián)合立項、攻關(guān),園區在高性能微球材料、先進(jìn)半導體材料、高端芯片研發(fā)等10多個(gè)領(lǐng)域不斷取得核心技術(shù)突破,填補多項國內外空白。
在17年的發(fā)展過(guò)程中,園區逐步探索出“十個(gè)一”產(chǎn)業(yè)培育機制,即聚焦一個(gè)特色產(chǎn)業(yè)、制定一個(gè)產(chǎn)業(yè)規劃、組建一家國資公司、建設一個(gè)功能園區、引進(jìn)一批大院大所、設立一只產(chǎn)業(yè)基金、成立一個(gè)服務(wù)機構、集聚一批龍頭企業(yè)、搭建一批合作平臺、打造一個(gè)品牌盛會(huì )。
激發(fā)各類(lèi)要素活力效能
蘇州工業(yè)園區金雞湖大道99號蘇州納米城,勝科納米(蘇州)股份有限公司實(shí)驗室內,公司創(chuàng )始人李曉旻正在和團隊進(jìn)行樣品測試?!靶酒庋b完畢后,可能仍有潛在的瑕疵和缺陷,用在關(guān)鍵設備上會(huì )發(fā)生故障。我們要做的,就是找出這些瑕疵并進(jìn)行優(yōu)化?!崩顣詴F說(shuō),這項“芯片醫生”工作專(zhuān)業(yè)性極強。
勝科納米所在的蘇州納米城,是全球最大的納米技術(shù)應用產(chǎn)業(yè)綜合社區,也是蘇州市納米新材料創(chuàng )新集群核心區之一,由蘇州納米科技發(fā)展有限公司負責運營(yíng)與建設。這里集聚了200多家納米新材料企業(yè),其中不乏納微科技、納維科技等資本市場(chǎng)看好的“明星企業(yè)”,在半導體器件、新型顯示與照明、生物醫藥等領(lǐng)域都處于上游核心環(huán)節。
縱觀(guān)園區納米產(chǎn)業(yè)發(fā)展,可以發(fā)現,幾乎每個(gè)節點(diǎn)上都有像蘇州納米科技這樣的國資力量承擔著(zhù)“鏈主”功能。蘇州納米科技公司通過(guò)一系列舉措,使各類(lèi)要素發(fā)揮最大最直接的產(chǎn)業(yè)促進(jìn)效能。以搭建平臺為例,園區在基礎性平臺上,建立納米加工平臺、納米測試分析平臺等;在技術(shù)支撐與工程化方面建立MEMS中試平臺等,同時(shí)建立標準與檢測中心,服務(wù)園區企業(yè)的技術(shù)科研、產(chǎn)品創(chuàng )新、產(chǎn)業(yè)化發(fā)展需求。
蘇州工業(yè)園區先后匯集了15家納米產(chǎn)業(yè)相關(guān)的上市公司,其中蘇州納米城孵化了5家上市公司,且形成上市企業(yè)梯隊。此外,園區納米產(chǎn)業(yè)相關(guān)基金已超10只,總規模約20億元,后續則引導80億至100億元投資規模。
打造新材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新集群
在納米產(chǎn)業(yè)的培育發(fā)展中,蘇州工業(yè)園區尤其注重科技自立自強,牢牢把握創(chuàng )新主動(dòng)權、發(fā)展主動(dòng)權,努力實(shí)現關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控。
建設“大科學(xué)裝置”,中科院蘇州納米所納米真空互聯(lián)實(shí)驗站二期日前順利通過(guò)驗收,這是目前世界上最大的真空互聯(lián)科研裝置,集材料原位生長(cháng)、器件加工、測試分析為一體。走進(jìn)其中,只見(jiàn)長(cháng)達203米的超高真空管道縱橫交錯,連接了近40臺大型設備,管道旁,待試驗樣品被機械手送進(jìn)設備后傳送至相應節點(diǎn)。截至2022年12月,實(shí)驗站累計開(kāi)展合作課題651個(gè),建立起輻射長(cháng)三角地區、延伸海內外的用戶(hù)科研服務(wù)體系。
國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng )新中心(蘇州)落戶(hù)蘇州工業(yè)園區,不僅彰顯區域科研實(shí)力,也成為助推創(chuàng )新資源集聚的又一抓手。自2021年3月獲批并啟動(dòng)建設以來(lái),隨著(zhù)國家級平臺、領(lǐng)軍企業(yè)、代表性人才加速落地,國創(chuàng )中心(蘇州)已取得累累碩果:在大尺寸氮化鎵材料制備等領(lǐng)域取得重大突破,累計申請核心專(zhuān)利超200項;材料生長(cháng)創(chuàng )新平臺推動(dòng)可見(jiàn)光通信應用等領(lǐng)域技術(shù)指標國內領(lǐng)先。
根據《蘇州市納米新材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新集群行動(dòng)計劃(2023-2025年)》,該市將努力打造全球最具吸引力的納米新材料產(chǎn)業(yè)創(chuàng )新集群,力爭到2025年,全市納米新材料產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值突破1000億元。對照這一目標,蘇州工業(yè)園區正奮力續寫(xiě)更多精彩故事。
新華日報·交匯點(diǎn)記者孟旭 王俊杰
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