半導體測試解決方案專(zhuān)業(yè)品牌蔚華科技（TWSE：3055）攜手旗下數字光學(xué)品牌南方科技，共同推出業(yè)界首創(chuàng )的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統，采用先進(jìn)非線(xiàn)性光學(xué)技術(shù)對SiC襯底進(jìn)行全片掃描，找出襯底內部的致命性晶體缺陷，用以取代現行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測方式，可提升產(chǎn)量并有助于改善制程。若以每個(gè)SiC晶錠需蝕刻2片襯底來(lái)計算，JadeSiC-NK可為具有100個(gè)長(cháng)晶爐的襯底廠(chǎng)省下每年5600萬(wàn)因蝕刻而損耗的成本。

蔚華科技與旗下南方科技發(fā)表業(yè)界首創(chuàng )非破壞性SiC缺陷檢測系統，搶攻第三代半導體檢測分析市場(chǎng)

　　需求迅速爆發(fā) SiC襯底與組件供不應求 唯KOH是高成本痛點(diǎn)
　　在現今環(huán)境永續意識抬頭的全球趨勢下，許多國家已制定電動(dòng)車(chē)的階段性政策目標，SiC芯片需求迅速爆發(fā)，尤其用于生產(chǎn)電動(dòng)汽車(chē)使用的耐高溫高壓SiC功率半導體組件，供給量遠遠不及需求。
　　第三代半導體的襯底材料質(zhì)量決定下游芯片的可靠度及性能優(yōu)劣，但SiC長(cháng)晶速度較慢，且襯底晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進(jìn)行抽樣檢測，使得SiC芯片制程成本居高不下，目前全球主要襯底廠(chǎng)皆積極投資產(chǎn)能擴充并改善制程，加速產(chǎn)業(yè)布局以搶攻市占率。襯底廠(chǎng)與組件廠(chǎng)若能在制程中對材料做全面非破壞性檢測，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學(xué)溶液使用量，更能及早發(fā)現問(wèn)題，進(jìn)而有效改善制程、提升良率，進(jìn)而在第三代半導體市場(chǎng)中展現絕佳優(yōu)勢。
　　JadeSiC-NK以非線(xiàn)性光學(xué)檢測取代現行破壞性KOH蝕刻可降低成本提高產(chǎn)能？？
　　南方科技總經(jīng)理王嘉業(yè)表示，目前市場(chǎng)上的光學(xué)技術(shù)只能檢測表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統采用先進(jìn)的非線(xiàn)性光學(xué)技術(shù)，可對全片襯底表面到特定深度進(jìn)行掃描，反應晶體結構信息，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶(hù)有效掌握襯底質(zhì)量，未來(lái)生產(chǎn)出的組件質(zhì)量與效能也能更加穩定。
　　王嘉業(yè)進(jìn)一步說(shuō)明，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統專(zhuān)注在穩定且有效地找出襯底中的致命性晶體缺陷（BPD，TSD，MicroPipe，StackingFault），相較現行將SiC晶錠切片后取上下二片襯底進(jìn)行檢測的KOH蝕刻方式，可大幅節省檢測時(shí)間與襯底成本。以每個(gè)長(cháng)晶爐每月產(chǎn)出四個(gè)晶錠為例，采用JadeSiC-NK后，每個(gè)晶錠可省下二片襯底成本（每片6寸襯底以800美元計），因此可推估一個(gè)長(cháng)晶爐每年可省下人民幣56萬(wàn)元，若是具有100個(gè)長(cháng)晶爐的襯底廠(chǎng)，一年即可省下人民幣5600萬(wàn)元！此外，JadeSiC-NK也可針對同一個(gè)晶錠進(jìn)行100%的晶圓檢查，進(jìn)行詳細的晶錠分析和批次追踨分析，協(xié)助客戶(hù)在高技術(shù)門(mén)檻的第三代半導體市場(chǎng)加速制程及產(chǎn)量?jì)?yōu)化。
　　陽(yáng)明交通大學(xué)光電工程學(xué)系講座教授郭浩中表示，蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統，將非線(xiàn)性光學(xué)技術(shù)應用在第三代半導體的檢測分析，有助突破目前業(yè)界在量產(chǎn)及制程改善的技術(shù)瓶頸，對于產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展提供極大推力，期盼此系統能以更有效更穩定的檢測方法，建立業(yè)界SiC襯底檢測標準，成為產(chǎn)業(yè)界非線(xiàn)性光學(xué)技術(shù)的領(lǐng)航品牌，引領(lǐng)市場(chǎng)應用持續創(chuàng )新及突破。
　　從設備代理到自有產(chǎn)品 跨足光學(xué)檢測領(lǐng)域蔚華科技前景可期
　　蔚華科技總經(jīng)理楊燿州表示，考慮經(jīng)銷(xiāo)代理的不穩定性及追求更好的獲利結構，蔚華不斷加強投資自有產(chǎn)品開(kāi)發(fā)以求推出更貼近客戶(hù)需求的解決方案，此次透過(guò)并購南方科技，加速自有產(chǎn)品的發(fā)展進(jìn)程，讓蔚華從半導體封測設備跨足光學(xué)檢測，首先鎖定極具前景的第三代半導體材料缺陷檢測，對客戶(hù)、員工及投資人來(lái)說(shuō)都將是非常振奮人心的新局。
　　楊燿州進(jìn)一步指出，蔚華與南方科技自經(jīng)銷(xiāo)合作以來(lái)就秉持共同成長(cháng)、互相成就的初心，成立先進(jìn)光學(xué)材料檢測實(shí)驗室讓獨特的光學(xué)檢測技術(shù)更快進(jìn)入業(yè)界應用，透過(guò)客戶(hù)的反復驗證，進(jìn)而調整產(chǎn)品規格以滿(mǎn)足客戶(hù)需求。除了將非線(xiàn)性光學(xué)技術(shù)應用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來(lái)也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、硅光子等先進(jìn)光學(xué)檢測技術(shù)的商業(yè)化，持續加大研發(fā)能量有效整合集團資源，發(fā)揮綜效。
　　光電科技工業(yè)協(xié)進(jìn)會(huì )董事長(cháng)邰中和則表示，非常樂(lè )見(jiàn)兩家臺灣企業(yè)透過(guò)互補雙贏(yíng)的結合產(chǎn)生綜效，更為產(chǎn)業(yè)創(chuàng )造巨大價(jià)值。蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統是極具指針性的技術(shù)突破，不但對全球第三代半導體業(yè)來(lái)說(shuō)是可以大幅降低成本并增加產(chǎn)能的革命性產(chǎn)品，更能讓全球看見(jiàn)蔚華與南方科技在光學(xué)領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力，在未來(lái)蓬勃發(fā)展的第三代半導體市場(chǎng)扮演關(guān)鍵角色。