12月26日,彌費科技(上海)股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)"彌費科技")在上海臨港新片區舉辦"彌費科技臨港生產(chǎn)基地暨全球研發(fā)中心啟用儀式"。彌費科技專(zhuān)注于A(yíng)MHS的研發(fā)、生產(chǎn)與制造,臨港工廠(chǎng)作為彌費科技AMHS項目研發(fā)和生產(chǎn)總基地,占地面積約8000平米,其中建設了2000平米的以天車(chē)為核心的潔凈室AMHS整體解決方案標準化示范線(xiàn)。
彌費科技董事長(cháng)、CEO繆峰表示:"彌費科技立志成為具有全球影響力的半導體設備公司。2018 年,我們開(kāi)始專(zhuān)注在 AMHS 系統的自主研發(fā),至今已經(jīng)推出了 33 款AMHS 軟件及相關(guān)硬件,并且進(jìn)入了全球前五大半導體晶圓廠(chǎng)之中的四家。新工廠(chǎng)的啟用標志著(zhù)彌費科技的研發(fā)、生產(chǎn)以及整體運營(yíng)能力進(jìn)一步提升。"
半導體晶圓廠(chǎng)自動(dòng)物料搬運系統AMHS是能夠直接影響半導體晶圓廠(chǎng)的物料運轉、產(chǎn)能績(jì)效的核心系統之一,可實(shí)現半導體晶圓制造過(guò)程中的高效自動(dòng)化,有效提高晶圓廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn)運行效率和穩定性,降低人工成本和錯誤率,為客戶(hù)降本增效,擴大競爭優(yōu)勢提供助力。
作為中國領(lǐng)先的半導體晶圓廠(chǎng)AMHS設備整體解決方案供應商,彌費科技完成了從AMHS產(chǎn)品供應商向AMHS系統級供應商的演進(jìn)。隨著(zhù)率先完成晶圓廠(chǎng)AMHS系統級整廠(chǎng)訂單交付與驗收,彌費科技已成為國內首家具備整廠(chǎng)級AMHS解決方案、量產(chǎn)能力、項目實(shí)施經(jīng)驗和交付案例的國產(chǎn)替代供應商,填補了國產(chǎn)半導體AMHS系統在該領(lǐng)域的空白。
彌費科技CTO李宏偉介紹,成立至今,彌費科技形成了五大核心競爭力:成套能力,產(chǎn)品組合可以建設整個(gè)晶圓廠(chǎng);正向研發(fā)設計能力,從仿真、設計到驗證,全體系保證產(chǎn)品質(zhì)量;自主研發(fā)能力,背后是對整個(gè)生態(tài)體系的建設;應用能力,核心成員均為來(lái)自國內外知名晶圓廠(chǎng)的資深從業(yè)者,可以非常精準地指導產(chǎn)品定義;算法能力,可以支撐500 臺甚至1000 臺的天車(chē)調度。
歷經(jīng)多年的持續研發(fā),彌費科技推出了天車(chē)核心傳輸設備、協(xié)作式機器人、晶圓存儲設備、光罩存儲設備、緩沖存儲設備、上下料口凈化設備等三十余種AMHS設備和軟件調度系統,知識產(chǎn)權數量達到200件以上。AMHS軟硬件產(chǎn)品已累計交付超過(guò)30家國內外晶圓廠(chǎng)客戶(hù),同時(shí)積累了豐富的技術(shù)和項目經(jīng)驗。
截止目前,彌費科技自主研發(fā)的AMHS核心傳送設備天車(chē)OHT、存儲設備Stocker都已完成多個(gè)版本的技術(shù)迭代。在軟件調度系統方面,成立了X-Lab實(shí)驗室,基于領(lǐng)先算法持續提升系統效能。該實(shí)驗室正從大規模調度的全局優(yōu)化、機器視覺(jué)代替傳感器、可預測性維護三個(gè)方向發(fā)力,用AI技術(shù)為系統賦能。
繆峰表示,彌費科技一路走來(lái)不斷開(kāi)拓壯大,臨港工廠(chǎng)作為彌費科技AMHS進(jìn)入大批量量產(chǎn)階段重要的生產(chǎn)基地,新工廠(chǎng)交付能力較之前提升了4倍,有效填補了國產(chǎn)半導體AMHS市場(chǎng)空白,彌費科技還將進(jìn)一步實(shí)現8英寸和12英寸大型半導體晶圓廠(chǎng)AMHS的整廠(chǎng)量產(chǎn)交付,并基于技術(shù)實(shí)力進(jìn)軍國際市場(chǎng)。
未來(lái),彌費科技將繼續加大研發(fā)投入,提速產(chǎn)能部署,以高效、精準、安全的AMHS產(chǎn)品與解決方案,以"持續創(chuàng )造客戶(hù)價(jià)值"為導向,為客戶(hù)提供卓越的技術(shù)支持和服務(wù),助力集成電路產(chǎn)業(yè)實(shí)現持續節能增效,提升市場(chǎng)競爭力。
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